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Herz 氣浮式被動隔振臺
穩(wěn)定、可靠、簡單的安裝
高精度系統(tǒng)*的主動式防振系統(tǒng)
國內、外公營及私營企業(yè)、政府單位、大學、研究所、FEI (即前Philips電鏡部門)、以及多家精密測量儀器生產商都選擇采用
當中包括FEI、AFM生產商、中國科學院、香港**科技署、香港的多家大學、Heinrich Lab, Department of Biomedical Engineering, UC Davis、California Institute of Technology、Turner Research Group, College of Engineering, University of Wisconsin-Madison、Fertility Associates, New Zealand等
可以提供樣機對SEM/TEM 進行試用，同時可提供場地測量服務！
Herz 氣浮式被動隔振臺 TDI系列
技術參數：
減振方式：垂直方向-HERZ減振空氣彈簧，水平方向-Herz高性能水平振動隔離系統(tǒng)
空氣彈簧數：4-6
阻尼方式：垂直方向通過節(jié)流孔進行空氣阻尼，水平方向采用特殊橡膠的高性能阻尼
固有頻率：垂直方向約1.3Hz/水平方向約0.6Hz(搭載均等大重量時)
調平方式：帶有3個機械式自動調平傳感器
供氣方式：需要外部氣源
所需氣壓：0.3～0.7MPa(3～7kgf/c㎡) ※可選手動供氣
工作臺材質：頂板-磁化不銹鋼板5t ,底板-熱軋低碳鋼板 4.5t ※可選消磁不銹鋼板
蜂窩板材質：鋁/鋼制蜂窩板 ※可選消磁不銹鋼蜂窩板
表面處理：攻絲M-6?25mm矩陣標準加工(可選) 表面未涂漆(※帶黑色涂料)
承重力：150-1,000Kg(取決于具體型號)
整體重量：140-2,763 Kg(取決于具體型號和面板材質)
外形尺寸：取決于具體型號(107LA-6015LA)
減振效果：
TDI系列可有效降低垂直方向和水平方向上的振動情況。
